Communication Dans Un Congrès
Année : 2013
Olivier RIOU : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.u-pec.fr/hal-04137061
Soumis le : jeudi 22 juin 2023-08:52:07
Dernière modification le : vendredi 27 décembre 2024-19:49:31
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04137061 , version 1
Citer
Pierre-Olivier Logerais, Raouf Kelalfa, Olivier Riou, Anne Bouteville. Étude de l’influence de la diffusivité thermique du hublot de quartz sur le profil de température d’un substrat de silicium dans un système thermique rapide (RTP : Rapid Thermal Process). CIFQ 2013, Colloque International Franco-Québécois en énergie (CIFQ), Jun 2013, Reims, France. ⟨hal-04137061⟩
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