Development of MEMS-type sensors dedicated to real-time measurement aerosol mass concentration
Développement de capteurs de type MEMS dédiés à la mesure en temps réel de la concentration massique en aérosols
Résumé
Nowadays, the detection and characterization of air particles is a major societal issue. Tools exist to measure air contamination in accordance with the directives and standards. However, despite their high performance, the have disadvantages like their dimensions, their costs or their impossibility to carry out real-time measurements. Thus, this summary presents a miniaturized concept of a system for detecting and monitoring particles in the air comprising a micro-impactor combined with a resonant sensor of MEMS type. The steps allowing this system to be obtained as well as the preliminary results of particle deposition characterization will be presented.
De nos jours, la détection et la caractérisation des particules de l'air est un enjeu sociétal majeur. Des outils existent pour mesurer la contamination de l'air conformément aux directives et normes en vigueur. Cependant, malgré leurs performances élevées, ils ont des inconvénients tels que leurs encombrements, leurs couts ou encore leurs impossibilités de réaliser des mesures en temps réel. Ainsi ce résumé présente un concept miniaturisé d'un système de détection et de suivi des particules dans l'air comprenant un micro-impacteur combiné à un capteur résonant de type MEMS. Les étapes permettant l'obtention de ce système ainsi que des résultats préliminaires de caractérisation de dépôt de particules seront présentés.