Conference Papers
Year : 2013
Olivier RIOU : Connect in order to contact the contributor
https://hal.u-pec.fr/hal-04137061
Submitted on : Thursday, June 22, 2023-8:52:07 AM
Last modification on : Wednesday, November 29, 2023-3:36:05 AM
Dates and versions
Identifiers
- HAL Id : hal-04137061 , version 1
Cite
Pierre-Olivier Logerais, Raouf Kelalfa, Olivier Riou, Anne Bouteville. Étude de l’influence de la diffusivité thermique du hublot de quartz sur le profil de température d’un substrat de silicium dans un système thermique rapide (RTP : Rapid Thermal Process). CIFQ 2013, Colloque International Franco-Québécois en énergie (CIFQ), Jun 2013, Reims, France. ⟨hal-04137061⟩
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